首先靶材有纯金属靶，也有合金靶（两种或者多种金属掺在一起），还有就是一些不导电的靶材，好多都是氧化物的靶材。把氧化物的靶材成为陶瓷靶也不是很规范的。
常用的靶材有：硅铝靶、氧化钛靶、锡靶、锌铝、锌锡、锌锡锑、钛靶、不锈钢靶、铬靶、铌靶以及旋转zao靶材等。
